東8号館 設備紹介

クリーンルーム設備 ・デバイス作製設備
1F クリーンルーム

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電子･光材料　成膜･分析･評価設備
2F 202号室・206号室

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マイクロメカトロニクス研究設備
3F 306号室・308号室・310号室

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