FE-SEM
日本電子 JSM-6340F

room 206
①

電界放射型の走査型電子顕微鏡で、数nmの観察が可能です。反射電子の測定が可能で、元素の違いや凹凸を明確にすることができます。

W-SEM
日本電子 JSM-6510

room 206
②

タングステンフィラメントを使用した走査型電子顕微鏡です。EDS測定が可能です。

X線回折装置

room 206
③

結晶格子の評価をする装置です。ω-2θロッキングカーブ、逆格子空間の測定が可能で、結晶の組成、欠陥の評価に加え、超格子構造、ナノ結晶の評価も可能です。

MOCVD装置（GaN系）

room 202
④

青色発光ダイオードを代表とするGaN系の半導体薄膜を成膜する装置です。大気圧と減圧、両方の条件での成膜が可能です。