Class100イエロールーム

フォトリソグラフィーを行う部屋で、レジストが反応する光を使わない照明になっています。クリーン度はClass10000のプロセス室より高くなっています。

Class10000ルーム

通常の部屋よりもほこり（パーティクル）の少ないデバイス作製のプロセス室です。

監視システム

クリーンルームは他と閉ざされた空間となるため、安全管理が必要です。このため安全システム・監視システムを備え、集中的に管理しています。

エアーシャワー

クリーンルームへの入室前にエアーシャワーでほこりを除去します。

Class10000更衣室

クリーンルームへ入室するための準備を行う部屋です。人体から発生するほこり（パーティクル）の発生を防止する為、クリーンスーツを着用し、クリーンルームへ入室します。