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１F

　クリーンルーム設備 / デバイス作製設備（クリーンルーム内）

２F

　電子･光材料　成膜･分析･評価設備 ---- 206号室

３F

　マイクロメカトロニクス研究設備 ---- 306号室/308号室/310号室

４F

　生体情報センサー融合実験室設備 ---- 402号室
　３室連携ルーム設備 ---- 408号室